Equipment introduction設(shè)備介紹

@ 設(shè)備型號為HF-RS-A

@ 設(shè)備適用于氧化亞硅的真空升華法制備

@ 設(shè)備工作區(qū)尺寸為p120mmxL600mm(填充量約為12L)

@ 設(shè)備加熱區(qū)爐管采用剛玉材質(zhì)

@ 設(shè)備設(shè)計(jì)一個(gè)測溫點(diǎn)

@ 設(shè)備溫控區(qū)數(shù)為一區(qū)

@ 設(shè)備溫控精度為土2°C

@ 設(shè)備溫控采用自主開發(fā)的數(shù)顯屏

@ 設(shè)備真空度10Pa(可定制)

@ 設(shè)備功率為12kw

@ 設(shè)備設(shè)計(jì)溫度為RT~1350℃

◎ 設(shè)備外形尺寸為L1700xW800xH1570(mm)

(最終以制造為準(zhǔn))